半导体
12寸晶圆搬运与检测
客户：某半导体设备厂商
定制洁净级电动夹爪实现12寸晶圆在洁净室中的精密搬运和检测上下料，满足半导体前道制程严苛要求。
Class 100
洁净等级
±0.01mm
定位精度
0碎片
运行记录
24/7
稳定运行
项目背景
客户痛点与挑战
12寸（300mm）硅晶圆价值高、薄而脆，搬运过程中不能有任何接触损伤和颗粒污染。客户之前使用进口真空吸具，存在成本高、交期长、服务响应慢等问题，希望国产化替代。要求夹爪满足Class 100洁净度、低发尘、防静电、不产生金属离子污染，同时搬运精度高、不碎片。
洁净度要求
Class 100洁净室使用，要求夹爪低发尘、无油污、不产生颗粒污染。
晶圆易碎
晶圆厚度仅700μm左右，脆性大，力控不当极易碎片，单片晶圆价值数千元。
防静电防污染
需要ESD防静电保护，不能有金属离子污染，材质选择严苛。
高精度
晶圆对准和检测要求定位精度±0.01mm，角度偏差小于0.01°。
解决方案
钧舵方案
钧舵为客户定制开发了半导体专用洁净级电动夹爪：1）洁净室专用设计，低发尘润滑脂、特殊表面处理，发尘量满足Class 100要求；2）半导体级材质，无硅、无金属离子污染，表面防静电处理；3）超软力控，力控分辨率0.05N，轻柔夹持晶圆边缘，不碎片；4）定制晶圆边缘接触指尖，PFA材质软接触，不损伤晶圆边缘；5）±0.01mm重复定位精度，满足检测上下料精度要求；6）SEMI S2安全标准设计，便于客户设备通过整机认证。
使用产品
项目成果
客户价值
Class 100
洁净等级
通过洁净度测试，满足Class 100洁净室要求
0
碎片率
上线运行以来零碎片事故，良率100%
±0.01mm
定位精度
重复定位精度±0.01mm，满足检测要求
40%
成本降低
相比进口方案成本降低40%，交期缩短一半
"钧舵定制的半导体夹爪性能达到了进口同类产品水平，洁净度和精度都满足我们的要求，而且响应速度快、服务好，成本也有优势，是半导体设备国产化的优秀合作伙伴。"
某半导体设备公司 研发总监