产品概述
旋转对位真空吸取方案
ERS系列旋转真空执行器采用高精度旋转平台配合集成式真空气路设计，真空通道通过精密气滑环从旋转轴中心引出，360°无限旋转过程中保持真空稳定不断气。旋转端采用高精度直驱电机或谐波减速器，旋转精度高、速度快。
执行器自带真空发生器接口，可外接真空发生器或集成式真空产生器。支持多种吸盘安装，可根据工件选择合适吸盘。产品广泛应用于半导体晶圆旋转对位、3C电子屏幕贴合转向、标签旋转转印、光学元件调整等需要真空吸取+旋转对位的场景。
360°
无限旋转
不断气
气滑环
±0.005°
旋转精度
核心特性
产品核心优势
无限旋转
360°无限连续旋转，旋转过程中通过气滑环保持真空气路连通不断气。
高精度旋转
直驱/谐波传动，旋转重复精度最高±0.005°，满足精密对位要求。
集成气路
真空气路从轴心引出，无需外部拖链气管，结构简洁，气管不缠绕。
标准接口
标准吸盘安装接口，可安装各种规格真空吸盘、吸嘴。
真空检测
可选配真空压力传感器，实时检测真空度，确认工件吸取状态。
安装简便
一体化设计，体积小巧，直接安装于设备末端，简化机械结构。
技术参数
规格参数
| 参数 | ERS-05 | ERS-20 |
| 旋转角度 | 360°无限 | |
| 旋转重复精度 | ±0.005° | ±0.01° |
| 额定扭矩 | 0.2N·m | 1N·m |
| 最大负载 | 0.5kg | 2kg |
| 气路接口 | M5 | |
| 真空接口位置 | 轴心 | |
| 通讯协议 | Modbus/EtherCAT | |
应用领域
典型应用场景
半导体
晶圆旋转对位
3C电子
屏幕贴合转向
标签转印
标签旋转贴附
光学调整
光学元件旋转调整
