产品概述
超精密旋转定位专家
ERG-HP系列高精度电动旋转夹爪采用无框力矩电机直驱设计，消除传动间隙，配合高分辨率绝对值编码器，实现超高精度旋转定位。旋转端跳动量控制在微米级，满足光学、半导体等行业的超高精度要求。
夹持端采用微力控技术，最小夹持力可达1N，力控分辨率0.05N，可安全夹持光学镜片、晶圆、芯片等易损精密部件。产品支持洁净室使用（ISO Class 5），是半导体、光学、精密仪器等高端制造领域的理想选择。
±0.005°
旋转精度
0.05N
力控分辨率
Class 5
洁净等级
核心特性
产品核心优势
超高精度
直驱电机+高分辨率编码器，旋转重复精度±0.005°，满足超精密对位。
微力控
最小夹持力1N，力控分辨率0.05N，安全夹持精密易碎部件。
零背隙
直驱设计无传动间隙，正反转无空程，响应速度快。
洁净室兼容
特殊密封和材料设计，满足ISO Class 5洁净室使用要求。
低跳动
端面跳动<5μm，径向跳动<10μm，适合光学对准应用。
轨迹编程
支持速度、位置、扭矩多种控制模式，可实现复杂运动轨迹。
技术参数
规格参数
| 参数 | ERG-HP-10 | ERG-HP-30 |
| 额定夹持力 | 1-10N | 5-50N |
| 夹持行程（单侧） | 5mm | 10mm |
| 旋转角度 | ±360° | |
| 旋转重复精度 | ±0.005° | ±0.01° |
| 端面跳动 | <5μm | <10μm |
| 本体重量 | 420g | 780g |
| 洁净等级 | ISO Class 5 | |
应用领域
典型应用场景
半导体
晶圆对准、芯片旋转测试
光学行业
镜头调焦、镜片组装
精密电子
摄像头模组组装
科研实验
精密定位、微操作
